(资料图)
天眼查APP显示,近日,江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“沉积设备和沉积方法”专利公布。 摘要显示,本申请公开了沉积设备和沉积方法。沉积设备包括外壳、内壳、承载支架和出气组件。内壳设置于外壳的内部,内壳与外壳之间形成有外腔,内壳内部形成有内腔。承载支架包括支撑轴,支撑轴部分位于内腔部分位于外腔。出气组件设置于外腔,用于控制外腔的压力。其中,内壳设置有让位孔,支撑轴穿设让位孔,让位孔连通外腔和内腔。通过上述方式,本申请能够改善沉积设备的镀膜质量。
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天眼查APP显示,近日,江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“沉积设备和沉积方法”专利公布。 摘要显示,本申请公开了沉积设备和沉积方法。沉积设备包括外壳、内壳、承载支架和出气组件。内壳设置于外壳的内部,内壳与外壳之间形成有外腔,内壳内部形成有内腔。承载支架包括支撑轴,支撑轴部分位于内腔部分位于外腔。出气组件设置于外腔,用于控制外腔的压力。其中,内壳设置有让位孔,支撑轴穿设让位孔,让位孔连通外腔和内腔。通过上述方式,本申请能够改善沉积设备的镀膜质量。
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